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芯谦Pad产品系列矩阵
上海芯谦已独立研发出6大系列,20余中抛光垫产品。涵盖集成电路、大硅片、碳化硅用抛光垫。 上海芯谦聚氨酯抛光垫3大系列:TR系列、DA系列、DS系列,其中TR、DS系列已实现量产。
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